Hőszabályozott kerámiacső-kemence alkalmazása félvezető minták hőkezeléséhez

dc.contributor.advisorMisák, Sándor
dc.contributor.authorDapsy, Máté
dc.contributor.departmentDE--TEK--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2010-11-30T07:46:36Z
dc.date.available2010-11-30T07:46:36Z
dc.date.created2010-11-29
dc.date.issued2010-11-30T07:46:36Z
dc.description.abstractSzakdolgozatomban bemutattam a kerámicső-kemence felépítését, működési elvét, elkészítettem a kemence teljes műszaki dokumentációját (villamos tervek, használati utasítás). Sikerült a kerámiacső-kemencét üzembe helyeznem, beállítanom azt a különböző hőkezelési módokhoz, ezáltal lehetővé váltak a feltételek a félvezető minták hőkezeléséhez. Elvégeztem a félvezető GaAs minták szerkezeti (AFM) vizsgálatait. A várt eredményekhez képest a hőkezelt mintákon nem tapasztaltam nanoszál-növekedést, ami több oknak tulajdonítható, amelyeket a 3.3.fejezetben ismertettem. A PLC készülékek kiválasztásakor figyelembe vettem az adott rendszer adottságait. Az új szabályzó rendszert sikerült úgy megterveznem, hogy az a jövőben maradéktalanul megvalósítható legyen. Egy olyan egyszerű és könnyen használható készülékkel bővült a Debreceni Egyetem Természettudományi és Technológiai Kar Fizikai Intézet Nanoelektronikai és Nanotechnológiai Részlegének eszköztára, mellyel a jövőben fontos oktatási és kutatási célokra alkalmazható. Mindent figyelembe véve elmondhatom, hogy a kitűzött feladatokat maradéktalanul sikerült teljesítenem. A dolgozat megírása közben az eddig már megszerzett és még ismeretlen területeken sikerült új ismeretekkel bővítettem a tudásom és gyakorlatot szereznem.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.courseVillamosmérnök Bschu_HU
dc.description.degreeBschu_HU
dc.format.extent70hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/100932
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectHőkemencehu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Műszaki tudományok::Villamosságtanhu_HU
dc.titleHőszabályozott kerámiacső-kemence alkalmazása félvezető minták hőkezeléséhezhu_HU
Fájlok