Hőszabályozott kerámiacső-kemence alkalmazása félvezető minták hőkezeléséhez
| dc.contributor.advisor | Misák, Sándor | |
| dc.contributor.author | Dapsy, Máté | |
| dc.contributor.department | DE--TEK--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézet | hu_HU |
| dc.date.accessioned | 2010-11-30T07:46:36Z | |
| dc.date.available | 2010-11-30T07:46:36Z | |
| dc.date.created | 2010-11-29 | |
| dc.date.issued | 2010-11-30T07:46:36Z | |
| dc.description.abstract | Szakdolgozatomban bemutattam a kerámicső-kemence felépítését, működési elvét, elkészítettem a kemence teljes műszaki dokumentációját (villamos tervek, használati utasítás). Sikerült a kerámiacső-kemencét üzembe helyeznem, beállítanom azt a különböző hőkezelési módokhoz, ezáltal lehetővé váltak a feltételek a félvezető minták hőkezeléséhez. Elvégeztem a félvezető GaAs minták szerkezeti (AFM) vizsgálatait. A várt eredményekhez képest a hőkezelt mintákon nem tapasztaltam nanoszál-növekedést, ami több oknak tulajdonítható, amelyeket a 3.3.fejezetben ismertettem. A PLC készülékek kiválasztásakor figyelembe vettem az adott rendszer adottságait. Az új szabályzó rendszert sikerült úgy megterveznem, hogy az a jövőben maradéktalanul megvalósítható legyen. Egy olyan egyszerű és könnyen használható készülékkel bővült a Debreceni Egyetem Természettudományi és Technológiai Kar Fizikai Intézet Nanoelektronikai és Nanotechnológiai Részlegének eszköztára, mellyel a jövőben fontos oktatási és kutatási célokra alkalmazható. Mindent figyelembe véve elmondhatom, hogy a kitűzött feladatokat maradéktalanul sikerült teljesítenem. A dolgozat megírása közben az eddig már megszerzett és még ismeretlen területeken sikerült új ismeretekkel bővítettem a tudásom és gyakorlatot szereznem. | hu_HU |
| dc.description.corrector | gj | |
| dc.description.course | Villamosmérnök Bsc | hu_HU |
| dc.description.degree | Bsc | hu_HU |
| dc.format.extent | 70 | hu_HU |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2437/100932 | |
| dc.language.iso | hu | hu_HU |
| dc.subject | Hőkemence | hu_HU |
| dc.subject.dspace | DEENK Témalista::Műszaki tudományok::Villamosságtan | hu_HU |
| dc.title | Hőszabályozott kerámiacső-kemence alkalmazása félvezető minták hőkezeléséhez | hu_HU |