Elektronsugaraslitográfia megvalósítása új, folyadékfázisú poly(dimetilsziloxán) reziszt anyagban
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
A dolgozat elkezdésekor a feladatom az elektronlitográfia alkalmazása volt PDMS polimerben. A kiépített litográfiai rendszer tesztelése, és működtetésének elsajátítása után egyrészt MonteCarlo szimulációval (CASINO program) megterveztem és kikísérleteztem, hogy milyen PDMS rétegvastagsággal kell dolgoznunk az elektronokkal való írás során, másrészt megterveztem milyen alakzatokat, milyen dózissal fogunk besugározni az anyagban történő elváltozások vizsgálatához.