Szilícium szeletek tisztaságát vizsgáltuk fotovezetésen alapuló méréssel. Ehhez magas hőmérsékleten oxidot növesztettünk a szeletekre. A leggyakrabban használt tisztítási, mintakezelési és mérési eljárások során használt eszközök és vegyi anyagok minőségének hatását vizsgáltuk. A mérő- és mintakezelési módszereinkkel kapcsolatos fejlesztésekre mutattunk rá. Ipari környezetben használt méréstechnika számára elegendő oxidréteg-vastagság növesztéséhez szükséges feltételeket meghatároztuk.