Szilícium szeletek magas hőmérsékleten történő, gyors oxidálásának vizsgálata tisztaságuk mérésének fejlesztéseként
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Szilícium szeletek tisztaságát vizsgáltuk fotovezetésen alapuló méréssel. Ehhez magas hőmérsékleten oxidot növesztettünk a szeletekre. A leggyakrabban használt tisztítási, mintakezelési és mérési eljárások során használt eszközök és vegyi anyagok minőségének hatását vizsgáltuk. A mérő- és mintakezelési módszereinkkel kapcsolatos fejlesztésekre mutattunk rá. Ipari környezetben használt méréstechnika számára elegendő oxidréteg-vastagság növesztéséhez szükséges feltételeket meghatároztuk.