Szilícium szeletek magas hőmérsékleten történő, gyors oxidálásának vizsgálata tisztaságuk mérésének fejlesztéseként

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorErdélyi, Zoltán
dc.contributor.advisorBálint, Szabolcs
dc.contributor.authorAlmásy, Orsolya
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Kémiai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2017-11-16T12:04:24Z
dc.date.available2017-11-16T12:04:24Z
dc.date.created2017
dc.description.abstractSzilícium szeletek tisztaságát vizsgáltuk fotovezetésen alapuló méréssel. Ehhez magas hőmérsékleten oxidot növesztettünk a szeletekre. A leggyakrabban használt tisztítási, mintakezelési és mérési eljárások során használt eszközök és vegyi anyagok minőségének hatását vizsgáltuk. A mérő- és mintakezelési módszereinkkel kapcsolatos fejlesztésekre mutattunk rá. Ipari környezetben használt méréstechnika számára elegendő oxidréteg-vastagság növesztéséhez szükséges feltételeket meghatároztuk.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.coursevegyészmérnök levelezőhu_HU
dc.description.degreeBSc/BAhu_HU
dc.format.extent30hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/245556
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectszilíciumhu_HU
dc.subjectmagas hőmérséklet
dc.subjectoxid
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Kémiahu_HU
dc.titleSzilícium szeletek magas hőmérsékleten történő, gyors oxidálásának vizsgálata tisztaságuk mérésének fejlesztésekénthu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Természettudományi és Technológiai Kar)