<link rel="stylesheet" href="styles.f3b1fba60ec7970c.css">

Thermal and plasma-enhanced ALD for the synthesis of inverse opal Al2O3 and its composite materials

Absztrakt

Leírás

Kulcsszavak

Forrás

Vacuum. -238 (2025), p. 1-11. -(cikkazonosító)114254-. -Vacuum. - 0042-207X

Jóváhagyás

Áttekintés

Kiegészítve

Hivatkozik rá

Jogok és engedélyezések

opnen acces article
szerző