Thermal and plasma-enhanced ALD for the synthesis of inverse opal Al2O3 and its composite materials
Fájlok
Dátum
2025
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
szerző
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
Vacuum. -238 (2025), p. 1-11. -(cikkazonosító)114254-. -Vacuum. - 0042-207X
Támogatás
Egyéb TKP2021 BME-NVA
Egyéb TKP2021-NKTA-34
Egyéb TKP2021-NKTA-34