Thermal and plasma-enhanced ALD for the synthesis of inverse opal Al2O3 and its composite materials

A tétel rövid nézete
dc.contributor.authorLemago, Hamsasew
dc.contributor.authorArwen, Soeun Choi
dc.contributor.authorHessz, Dóra
dc.contributor.authorJágerszki, Gyula
dc.contributor.authorPál, Petra
dc.contributor.authorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorBaradács, Eszter
dc.contributor.authorFodor, Tamás
dc.contributor.authorErdélyi, Zoltán
dc.contributor.authorSzilágyi, Imre Miklós
dc.date.accessioned2025-03-27T07:12:41Z
dc.date.available2025-03-27T07:12:41Z
dc.date.issued2025
dc.date.oa2026-05-13
dc.date.pasync2025-03-30T23:08:14Z
dc.date.updated2025-03-27T07:12:41Z
dc.description.correctorSDB
dc.identifier.citationVacuum. -238 (2025), p. 1-11. -(cikkazonosító)114254-. -Vacuum. - 0042-207X
dc.identifier.doihttp://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114254
dc.identifier.issn0042-207X
dc.identifier.opachttps://ebib.lib.unideb.hu/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM129060
dc.identifier.scopus86000633151
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/2437/388631
dc.identifier.urlhttps://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0042207X25002441
dc.languageeng
dc.rights.accessopnen acces article
dc.rights.ownerszerző
dc.subject.mabTermészettudományok
dc.subject.mabFizikai tudományok
dc.tenderEgyéb TKP2021 BME-NVA
dc.tenderEgyéb TKP2021-NKTA-34
dc.titleThermal and plasma-enhanced ALD for the synthesis of inverse opal Al2O3 and its composite materials
dc.typefolyóiratcikk
dc.typeidegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
Nincs kép
Név:
FILE_UP_0_EZ_Vacuum.pdf
Méret:
7.64 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
kiadói változat
Letöltés
Gyűjtemények
Publikációs Adatbázis