3D Cu/Al2O3 nanoszerkezetek előállítása
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Diplomamunkám célkitűzése az volt, hogy különböző kémiai eljárásokkal (Metal Assisted Chemical Etching és galvanizáció segítségével), illetve elektronsugaras litográfiával hengeres nanostruktúrákat állítsak elő. Ezen szerkezetek felülete a későbbiekben ALD (Atomic Layer Deposition) módszerrel különböző fémoxidokkal vonható be.