3D Cu/Al2O3 nanoszerkezetek előállítása
Absztrakt
Diplomamunkám célkitűzése az volt, hogy különböző kémiai eljárásokkal (Metal Assisted Chemical Etching és galvanizáció segítségével), illetve elektronsugaras litográfiával hengeres nanostruktúrákat állítsak elő. Ezen szerkezetek felülete a későbbiekben ALD (Atomic Layer Deposition) módszerrel különböző fémoxidokkal vonható be.
Leírás
Kulcsszavak
nanoszerkezet, MACE, galvanizáció, elektronsugaras litográfia