3D Cu/Al2O3 nanoszerkezetek előállítása

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorNagy, Anett
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2017-05-11T12:39:37Z
dc.date.available2017-05-11T12:39:37Z
dc.date.created2017
dc.description.abstractDiplomamunkám célkitűzése az volt, hogy különböző kémiai eljárásokkal (Metal Assisted Chemical Etching és galvanizáció segítségével), illetve elektronsugaras litográfiával hengeres nanostruktúrákat állítsak elő. Ezen szerkezetek felülete a későbbiekben ALD (Atomic Layer Deposition) módszerrel különböző fémoxidokkal vonható be.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.courseFizikus MSchu_HU
dc.description.degreeMSc/MAhu_HU
dc.format.extent43hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/240075
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectnanoszerkezethu_HU
dc.subjectMACEhu_HU
dc.subjectgalvanizációhu_HU
dc.subjectelektronsugaras litográfiahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.title3D Cu/Al2O3 nanoszerkezetek előállításahu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Természettudományi és Technológiai Kar)