Protonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásban

Abstract

Az anyagban a besugárzó részecskék által bejárt pályán az anyag fizikai és kémiai tulajdonságai módosulnak. A besugárzásokat a szükséges mintázatnak megfelelően elvégezve egy látens képet hozunk létre, ami megfelelő eljárással előhívható. A kialakult változások mértékét hangolni lehet a besugárzás paramétereinek megfelelő megválasztásával. Mikrostruktúrák létrehozásakor a reziszt anyagokban lejátszódó fizikai és kémiai folyamatok ismerete alapvető fontosságú. Doktori munkám során protonnyalábos mikromegmunkáláshoz kapcsolódó szerteágazó vizsgálatokat végeztem PMMA és PDMS polimeren. Vizsgáltam a protonnyalábbal történő besugárzás hatására kialakuló fizikai és kémiai változásokat, és a kapott eredményeket a gyakorlatban is alkalmaztam mikrostruktúrák létrehozására.