Protonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásban

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorRajta, István
dc.contributor.authorSzilasi, Szabolcs Zoltán
dc.contributor.departmentFizikai tudományok doktori iskolahu
dc.contributor.submitterdepDE--TEK--Természettudományi és Technológiai Kar --
dc.date.accessioned2012-07-03T08:35:48Z
dc.date.available2012-07-03T08:35:48Z
dc.date.created2012hu_HU
dc.date.defended2012-09
dc.description.abstractAz anyagban a besugárzó részecskék által bejárt pályán az anyag fizikai és kémiai tulajdonságai módosulnak. A besugárzásokat a szükséges mintázatnak megfelelően elvégezve egy látens képet hozunk létre, ami megfelelő eljárással előhívható. A kialakult változások mértékét hangolni lehet a besugárzás paramétereinek megfelelő megválasztásával. Mikrostruktúrák létrehozásakor a reziszt anyagokban lejátszódó fizikai és kémiai folyamatok ismerete alapvető fontosságú. Doktori munkám során protonnyalábos mikromegmunkáláshoz kapcsolódó szerteágazó vizsgálatokat végeztem PMMA és PDMS polimeren. Vizsgáltam a protonnyalábbal történő besugárzás hatására kialakuló fizikai és kémiai változásokat, és a kapott eredményeket a gyakorlatban is alkalmaztam mikrostruktúrák létrehozására.hu_HU
dc.format.extent121hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/130522
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectprotonnyalábos mikromegmunkáláshu_HU
dc.subjectmikromegmunkáláshu_HU
dc.subjectrészecskegyorsítóhu_HU
dc.subjectprotonhu_HU
dc.subjectpolimerhu_HU
dc.subjecttörésmutatóhu_HU
dc.subjectkémiahu_HU
dc.subjectfizikahu_HU
dc.subjectFTIRhu_HU
dc.subjectRamanhu_HU
dc.subjectellipszometriahu_HU
dc.subjectAFMhu_HU
dc.subjectmikroalkatrészhu_HU
dc.subjectbesugárzáshu_HU
dc.subject.disciplineFizikai tudományokhu
dc.subject.sciencefieldTermészettudományokhu
dc.titleProtonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásbanhu_HU
dc.title.translatedInvestigation of physical and chemical changes in polymers due to proton irradiation, applications of the results in proton beam writinghu_HU
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 2 (Összesen 2)
Nincs kép
Név:
Disszertáció.pdf
Méret:
2.33 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
Protonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásban
Letöltés
Nincs kép
Név:
Tézisek.pdf
Méret:
103 KB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
Protonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásban - Tézisek
Letöltés
Gyűjtemények
Fizikai Tudományok Doktori Iskola