Al2O3 rétegek diffúziót korlátozó tulajdonságainak vizsgálata
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Szilícium hordozó felületére porlasztott réz diffúziójának mérése a rézréteg tetejére ALD módszerrel rétegzett alumínium-oxid rétegek lyukhibáin keresztül. A lyukhibák keresése és jelenlétük bizonyítása SEM módszer segítségével, valamint Auger-elektronspektroszkópia alkalmazása a hőkezelésnek kitett rétegek tetején megjelenő réz diffúziós idejének meghatározása céljából. A rétegvastagságok és a réz átjutási idejének ismeretében diffúziós állandó meghatározása az Al2O3-zárórétegre.