Al2O3 rétegek diffúziót korlátozó tulajdonságainak vizsgálata

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorParditka, Bence
dc.contributor.advisorErdélyiné Baradács, Eszter Mónika
dc.contributor.authorNagy, Tibor
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Kémiai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2017-11-24T08:09:24Z
dc.date.available2017-11-24T08:09:24Z
dc.date.created2017-11-23
dc.description.abstractSzilícium hordozó felületére porlasztott réz diffúziójának mérése a rézréteg tetejére ALD módszerrel rétegzett alumínium-oxid rétegek lyukhibáin keresztül. A lyukhibák keresése és jelenlétük bizonyítása SEM módszer segítségével, valamint Auger-elektronspektroszkópia alkalmazása a hőkezelésnek kitett rétegek tetején megjelenő réz diffúziós idejének meghatározása céljából. A rétegvastagságok és a réz átjutási idejének ismeretében diffúziós állandó meghatározása az Al2O3-zárórétegre.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.coursekémiahu_HU
dc.description.degreeBSc/BAhu_HU
dc.format.extent27hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/245878
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectALDhu_HU
dc.subjectAl2O3hu_HU
dc.subjectAlumínium-oxidhu_HU
dc.subjectzáróréteghu_HU
dc.subjectdiffúzióhu_HU
dc.subjectdiffúziós állandóhu_HU
dc.subjectmagnetronos porlasztáshu_HU
dc.subjectvékonyréteghu_HU
dc.subjectpásztázó elektronmikroszkópiahu_HU
dc.subjectAuger-elektronspektroszkópiahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Kémiahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleAl2O3 rétegek diffúziót korlátozó tulajdonságainak vizsgálatahu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Természettudományi és Technológiai Kar)