dc.contributor.advisor	Langer, Gábor
dc.contributor.author	Lakatos, Ákos
dc.contributor.authorvariant	Lakatos, Ákos
dc.contributor.department	Fizikai tudományok doktori iskola	hu
dc.contributor.submitterdep	DE--TEK--Természettudományi Kar -- Szilárdtest Fizika Tanszék
dc.date.accessioned	2011-04-14T13:16:48Z
dc.date.available	2011-04-14T13:16:48Z
dc.date.defended	2011-04-29
dc.date.issued	2011	hu
dc.description.abstract	Doktori értekezésemben fémek és félvezetőrétegek közötti atommozgások által kontrollált jelenségeket vizsgáltam. A kísérletek során a mintákat magam készítettem, majd alacsony hőmérsékletű hőkezelések után vizsgáltam a mélységi elem összetételbeli változásokat másodlagos neutrális részecske tömegspektrometriával. Az SNMS profilokat koncentráció-mélység görbékre történő átszámolása egyes helyeken diffúziós együtthatók meghatározását, és azok aktiválási energiáinak meghatározását tette lehetővé. Munkámban próbáltam az SNMS berendezés eddig ismert alkalmazási lehetőségeit bővíteni az atommozgási folyamatok vizsgálata terén. Investigations of diffusion effects in nanolayered systems by mass spectroscopic methods are well-known and there is an increasing demand for them. Secondary Neutral Mass Spectrometry as a depth profiling method is sensitive enough to map concentration profiles formed in thin film systems with good spatial resolution and high lateral homogeneity. This instrument fulfils the requirements for quantitative chemical surface, in-depth, and bulk analysis. In my thesis I provide a description on diffusion controlled changes in metal- semiconductor thin films. After the preparation of the samples by magnetron sputtering they were heat treated and measured by SNMS.	hu_HU
dc.description.corrector	NE
dc.format.extent	101	hu_HU
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2437/104533
dc.language.iso	hu	hu_HU
dc.language.iso	en	hu_HU
dc.subject	Diffusion	hu_HU
dc.subject	Diffúzió	hu_HU
dc.subject	semiconductor nanolayers
dc.subject	félvezető vékonyrétegek
dc.subject.discipline	Fizikai tudományok	hu
dc.subject.sciencefield	Természettudományok	hu
dc.title	Diffúzió és diffúzió kontrollált jelenségek vizsgálata fém/félvezető nanorétegekben SNMS technikával	hu_HU
dc.title.translated	Investigation of diffusion and diffusion controlled processes in metal/semiconductor nanolayers by SNMS technique	hu_HU
dc.type	PhD, doktori értekezés	hu

Diffúzió és diffúzió kontrollált jelenségek vizsgálata fém/félvezető nanorétegekben SNMS technikával

Fájlok

Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)

Gyűjtemények