Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers
Fájlok
Dátum
2021
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Thin Solid Films. -738 (2021), p. 1-13. -Thin Solid Films. - 0040-6090