Diffúzió vizsgálata vékonyrétegekben
Dátum
2010-05-06T15:06:30Z
Szerzők
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Diplomamunkám folyamán a MgO diffúziós barrier tulajdonságait vizsgáltam. Si/15nmMgO/50nmCu, valamint Si/MgO/Cu/ITO(indium-ónoxid) mintákat készítettem magnetronos porlasztással. . A különböző hőmérsékleten hőkezelt minták mélységi profilját szekunder neutrális tömegspektrometria (SNMS) segítségével mértem.
Leírás
Kulcsszavak
diffúzió, barrier, SNMS