Interdiffusion in amorphous Si/Ge multilayers by Auger depth profiling technique
Dátum
2001
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
szerző
URL
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
Journal Of Applied Physics. -89 : 1 (2001), p. 804-806. -J. Appl. Phys. - 0021-8979