Diffúziós vizsgálatok hengeres nanoszerkezetekben
| dc.contributor.advisor | Cserháti, Csaba | |
| dc.contributor.author | Vecsei, Gergő | |
| dc.contributor.authorvariant | Vecsei, Gergő | |
| dc.contributor.department | Fizikai tudományok doktori iskola | hu |
| dc.contributor.submitterdep | Természettudományi és Technológiai Kar | |
| dc.date.accessioned | 2025-10-11T19:29:08Z | |
| dc.date.available | 2025-10-11T19:29:08Z | |
| dc.date.defended | 2025-12-01 | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.description.abstract | Doktori munkám célja az volt, hogy feltárjam a hengeres nanoszerkezetekben zajló kölcsönös diffúzió és a kapcsolódó mechanikai feszültségek kölcsönhatását. Bár a diffúziós folyamatokat sík geometriában széleskörűen tanulmányozták, a zárt, görbült geometriákban lezajló folyamatok eddig kevésbé feltártak. Munkámhoz modellrendszerként az Al2O3/ZnO anyagrendszert választottam, amelynek reaktív diffúzióját atomi rétegleválasztásos módszerrel előállított nanoszerkezetekben vizsgáltam. A kísérleteim során kettősfalú csöveket és kettős falú mag-héj struktúrákat állítottam elő. A munka központi célja az volt, hogy ezen szerkezetek ALD előállítása után hőkezeléssel reaktív diffúziót hozzak létre a rétegek között, és így feltárjam a kialakuló új fázis növekedését, kinetikai jellemzőit, valamint a folyamat során felépülő feszültségek hatását. Az Al2O3 és ZnO anyagok kombinációjának vizsgálatával arra kerestem választ, hogyan befolyásolja a hengeres struktúrák geometriája és a rétegzés sorrendje a keletkező fázis növekedési kinetikáját. A folyamat során felépülő mechanikai feszültségek hatásának értelmezéséhez a Tanszéken kifejlesztett számítógépes szimulációs módszert használtam. The aim of my doctoral research was to investigate the interplay between interdiffusion and the associated mechanical stresses in cylindrical nanostructures. While diffusion processes have been extensively studied in planar geometries, much less is known about these phenomena in closed, curved geometries. As a model system, I selected the Al₂O₃/ZnO material pair, and studied their reactive diffusion in nanostructures fabricated using atomic layer deposition (ALD). In my experiments, I fabricated double-walled nanotubes as well as double-walled core–shell structures. The central objective of this work was to induce reactive diffusion between the layers by thermal annealing and to investigate the growth of a newly formed phase, its kinetic characteristics, and the influence of stress development during the process. Through the examination of the Al₂O₃ and ZnO diffusion couple, I aimed to determine how the geometry of cylindrical structures and the sequence of layering affect the growth kinetics of the resulting phase. To interpret the role of mechanically induced stresses during the process, I utilized a computational simulation method developed at our Department. | |
| dc.format.extent | 111 | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/2437/397884 | |
| dc.language.iso | hu | |
| dc.subject | kölcsönös diffúzió, interdiffusion, nanoszerkezet, nanostructures, szilárdtest reakció, solid-state reaction | |
| dc.subject.discipline | Fizikai tudományok | hu |
| dc.subject.sciencefield | Természettudományok | hu |
| dc.title | Diffúziós vizsgálatok hengeres nanoszerkezetekben | |
| dc.title.translated | Diffusion studies in cylindrical nanostructures | |
| dc.type | PhD, doktori értekezés | hu |
Fájlok
Engedélyek köteg
1 - 1 (Összesen 1)
Nincs kép
- Név:
- license.txt
- Méret:
- 1.93 KB
- Formátum:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Leírás: