Diffúziós vizsgálatok hengeres nanoszerkezetekben

dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorVecsei, Gergő
dc.contributor.authorvariantVecsei, Gergő
dc.contributor.departmentFizikai tudományok doktori iskolahu
dc.contributor.submitterdepTermészettudományi és Technológiai Kar
dc.date.accessioned2025-10-11T19:29:08Z
dc.date.available2025-10-11T19:29:08Z
dc.date.defended2025-12-01
dc.date.issued2025
dc.description.abstractDoktori munkám célja az volt, hogy feltárjam a hengeres nanoszerkezetekben zajló kölcsönös diffúzió és a kapcsolódó mechanikai feszültségek kölcsönhatását. Bár a diffúziós folyamatokat sík geometriában széleskörűen tanulmányozták, a zárt, görbült geometriákban lezajló folyamatok eddig kevésbé feltártak. Munkámhoz modellrendszerként az Al2O3/ZnO anyagrendszert választottam, amelynek reaktív diffúzióját atomi rétegleválasztásos módszerrel előállított nanoszerkezetekben vizsgáltam. A kísérleteim során kettősfalú csöveket és kettős falú mag-héj struktúrákat állítottam elő. A munka központi célja az volt, hogy ezen szerkezetek ALD előállítása után hőkezeléssel reaktív diffúziót hozzak létre a rétegek között, és így feltárjam a kialakuló új fázis növekedését, kinetikai jellemzőit, valamint a folyamat során felépülő feszültségek hatását. Az Al2O3 és ZnO anyagok kombinációjának vizsgálatával arra kerestem választ, hogyan befolyásolja a hengeres struktúrák geometriája és a rétegzés sorrendje a keletkező fázis növekedési kinetikáját. A folyamat során felépülő mechanikai feszültségek hatásának értelmezéséhez a Tanszéken kifejlesztett számítógépes szimulációs módszert használtam. The aim of my doctoral research was to investigate the interplay between interdiffusion and the associated mechanical stresses in cylindrical nanostructures. While diffusion processes have been extensively studied in planar geometries, much less is known about these phenomena in closed, curved geometries. As a model system, I selected the Al₂O₃/ZnO material pair, and studied their reactive diffusion in nanostructures fabricated using atomic layer deposition (ALD). In my experiments, I fabricated double-walled nanotubes as well as double-walled core–shell structures. The central objective of this work was to induce reactive diffusion between the layers by thermal annealing and to investigate the growth of a newly formed phase, its kinetic characteristics, and the influence of stress development during the process. Through the examination of the Al₂O₃ and ZnO diffusion couple, I aimed to determine how the geometry of cylindrical structures and the sequence of layering affect the growth kinetics of the resulting phase. To interpret the role of mechanically induced stresses during the process, I utilized a computational simulation method developed at our Department.
dc.format.extent111
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/2437/397884
dc.language.isohu
dc.subjectkölcsönös diffúzió, interdiffusion, nanoszerkezet, nanostructures, szilárdtest reakció, solid-state reaction
dc.subject.disciplineFizikai tudományokhu
dc.subject.sciencefieldTermészettudományokhu
dc.titleDiffúziós vizsgálatok hengeres nanoszerkezetekben
dc.title.translatedDiffusion studies in cylindrical nanostructures
dc.typePhD, doktori értekezéshu
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 2 (Összesen 2)
Nincs kép
Név:
PhD_Dolgozat_Vecsei_Gergő.pdf
Méret:
109.9 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Nincs kép
Név:
Vecsei_Gergő_Tézisfüzet.pdf
Méret:
1.8 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Engedélyek köteg
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
Nincs kép
Név:
license.txt
Méret:
1.93 KB
Formátum:
Item-specific license agreed upon to submission
Leírás: