Elektronsugaras litográfia beágyazott rendszerrel
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Szakdolgozati munkám során a Debreceni Egyetem Szilárdtest Fizikai Tanszék HITACHI S4300-CFE típusú pásztázó elektronmikroszkópját (SEM: Scanning Electron Microscope) használtam elektonlitográfiás eszközként. A berendezés elektronnyalábja eltérítő tekercsekre feszültséget kapcsolva, közvetlenül vezérelhető. Az általam elkészített program egyik célja, a jelenlegi rendszerhez képest a pásztázás gyorsítása, a mintázat minőségének romlása nélkül, sőt a proximity effektus csökkentésével.