Elektronsugaras litográfia beágyazott rendszerrel

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorNagy, Dóra
dc.contributor.departmentDE--Informatikai Karhu_HU
dc.date.accessioned2017-05-11T11:04:14Z
dc.date.available2017-05-11T11:04:14Z
dc.date.created2017
dc.description.abstractSzakdolgozati munkám során a Debreceni Egyetem Szilárdtest Fizikai Tanszék HITACHI S4300-CFE típusú pásztázó elektronmikroszkópját (SEM: Scanning Electron Microscope) használtam elektonlitográfiás eszközként. A berendezés elektronnyalábja eltérítő tekercsekre feszültséget kapcsolva, közvetlenül vezérelhető. Az általam elkészített program egyik célja, a jelenlegi rendszerhez képest a pásztázás gyorsítása, a mintázat minőségének romlása nélkül, sőt a proximity effektus csökkentésével.hu_HU
dc.description.courseMérnökinformatikushu_HU
dc.description.degreeBSc/BAhu_HU
dc.format.extent53hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/240022
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectpásztázó elektronmikroszkóp (SEM), elektronlitográfia, miko- és nanolitográfiahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Informatikahu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleElektronsugaras litográfia beágyazott rendszerrelhu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Informatikai Kar)