Monitoring of Dose Dependent Damage in MeV Energy Hydrogen Implanted Silicon by Photo-Modulated Reflectance Measurements
Fájlok
Dátum
2022
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
szerző
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
IEEE Journal of the Electron Devices Society. -10 (2022), p. 761-768. -IEEE J. Electron Devices Soc. - 2168-6734. - 2168-6734